檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "Integrated".ekeyword (精準) and ckeyword.raw="矽光子"
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本論文探討利用國內晶圓廠的標準Bulk CMOS 製程實現光電積體電路的可能性,我們選擇標準0.18 μm CMOS製程中的多晶矽層作為光學波導,並且以微機電(MEMS)後製程將光學波導下方的矽基板…